T. Fukuda & Wolfgang Menz 
Micro Mechanical Systems [PDF ebook] 
Principles and Technology

الدعم

In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution from microcomponents to microsystems. Section two covers the areas of photolithographic microfabrication, basic concepts of planar processing, materials, and processes. Section three l...

قراءة المزيد
€231.63
طرق الدفع
قم بشراء هذا الكتاب الإلكتروني واحصل على كتاب آخر مجانًا!
لغة الإنجليزية ● شكل PDF ● ISBN 9780080536545 ● محرر T. Fukuda & Wolfgang Menz ● الناشر Elsevier Science ● نشرت 1998 ● للتحميل 6 مرات ● دقة EUR ● هوية شخصية 5652486 ● حماية النسخ Adobe DRM
يتطلب قارئ الكتاب الاليكتروني قادرة DRM

المزيد من الكتب الإلكترونية من نفس المؤلف (المؤلفين) / محرر

16٬516 كتب إلكترونية في هذه الفئة