Remarkable advances have been made in recent years in the science and technology of thin film processes for deposition and etching. It is the purpose of this book to bring together tutorial reviews of selected filmdeposition and etching processes from a process viewpoint. Emphasis is placed on the practical use of the processes to provide working guidelines for their implementation, a guide to the literature, and an overview of each process.
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भाषा अंग्रेज़ी ● स्वरूप PDF ● ISBN 9780323138987 ● प्रकाशक Elsevier Science ● प्रकाशित 2012 ● डाउनलोड करने योग्य 6 बार ● मुद्रा EUR ● आईडी 2664088 ● कॉपी सुरक्षा Adobe DRM
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