Pengarang: Ingolf Ruge

Aus den Besprechungen: ‘Der Autor wendet sich mit diesem Buch an Leser, die Halbleiterkomponenten herstellen wollen. Er versucht einen Mittelweg zu nehmen, indem er sich auf grundlegende Theorien abs …

In recent years great progress has been made in the field of ion implantation, particularly with respect to applications in semiconductors. It would be impos- sible not to note the growing interest i …

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In den letzten Jahren erschienen bereits mehrere Bücher zum Thema Ionenimplanta­ tion, die sich fast ausschließlich an auf dem Gebiet der Ionenimplantation tätige Wissenschaftler wenden und deshalb d …