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Friedemann Volklein & Thomas Zetterer: Einführung in die Mikrosystemtechnik
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Friedemann Volklein & Thomas Zetterer: Praxiswissen Mikrosystemtechnik
1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar stürmische Entwicklung erfahren hat wie die …
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