作者: Heiner Ryssel

In den letzten Jahren erschienen bereits mehrere Bücher zum Thema Ionenimplanta­ tion, die sich fast ausschließlich an auf dem Gebiet der Ionenimplantation tätige Wissenschaftler wenden und deshalb d …

SISDEP ’95 provides an international forum for the presentation of state-of-the-art research and development results in the area of numerical process and device simulation. Continuously shrinking dev …