Evaluating the effectiveness of conventional wet processes for cleaning silicon wafers in semiconductor production, this reference reveals concrete measures to improve ultrapure water quality reviewing the structure and physical characteristics of ultrapure water molecules.
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Format PDF ● Seiten 944 ● ISBN 9781351406437 ● Herausgeber Tadahiro Ohmi ● Verlag CRC Press ● Erscheinungsjahr 2017 ● herunterladbar 3 mal ● Währung EUR ● ID 5532476 ● Kopierschutz Adobe DRM
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