Anthony C. Jones & Paul O’Brien 
CVD of Compound Semiconductors [PDF ebook] 
Precursor Synthesis, Development and Applications

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Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.
Unter anderem werden behandelt:
* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern
* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE
* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE
* Einkomponentenvorstufen
* CBE-Technik
* ALE-Technik
Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.

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Table des matières

Basic Electronics
Introduction to Vapor-Phase Epitaxy
MOCVD
ALE
CBE
Precursor Chemistry
General Classes
Synthesis/Purification
Effects of Trace Impurities on Layer Properties
Deposition of III-V Semiconductors
MOCVD
ALE
CBE
Deposition of II-VI Semiconductors
MOCVD
ALE
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Langue Anglais ● Format PDF ● Pages 338 ● ISBN 9783527614622 ● Taille du fichier 19.3 MB ● Maison d’édition Wiley-VCH ● Publié 2008 ● Édition 1 ● Téléchargeable 24 mois ● Devise EUR ● ID 2440888 ● Protection contre la copie Adobe DRM
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