Evaluating the effectiveness of conventional wet processes for cleaning silicon wafers in semiconductor production, this reference reveals concrete measures to improve ultrapure water quality reviewing the structure and physical characteristics of ultrapure water molecules.
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Formato EPUB ● Páginas 944 ● ISBN 9781351406420 ● Editor Tadahiro Ohmi ● Editorial CRC Press ● Publicado 2017 ● Descargable 3 veces ● Divisa EUR ● ID 5532475 ● Protección de copia Adobe DRM
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