Evaluating the effectiveness of conventional wet processes for cleaning silicon wafers in semiconductor production, this reference reveals concrete measures to improve ultrapure water quality reviewing the structure and physical characteristics of ultrapure water molecules.
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Format EPUB ● Pages 944 ● ISBN 9781351406420 ● Éditeur Tadahiro Ohmi ● Maison d’édition CRC Press ● Publié 2017 ● Téléchargeable 3 fois ● Devise EUR ● ID 5532475 ● Protection contre la copie Adobe DRM
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