VLSI Electronics Microstructure Science, Volume 16: Lithography for VLSI treats special topics from each branch of lithography, and also contains general discussion of some lithographic methods. This volume contains 8 chapters that discuss the various aspects of lithography. Chapters 1 and 2 are devoted to optical lithography. Chapter 3 covers electron lithography in general, and Chapter 4 discusses electron resist exposure modeling. Chapter 5 presents the fundamentals of ion-beam lithography. Mask/wafer alignment for x-ray proximity printing and for optical lithography is tackled in Chapter 6. Chapters 7 and 8 on metrology deal with the characterization of lithography by measurements of various types. Engineers, scientists, and technical managers in the semiconductor industry, and engineering and applied physics faculty and graduate students will find the text very useful.
€55.73
ซื้อ eBook เล่มนี้และรับฟรีอีก 1 เล่ม!
ภาษา อังกฤษ ● รูป PDF ● หน้า 374 ● ISBN 9781483217826 ● บรรณาธิการ Norman G. Einspruch & R. K. Watts ● สำนักพิมพ์ Elsevier Science ● การตีพิมพ์ 2014 ● ที่สามารถดาวน์โหลดได้ 3 ครั้ง ● เงินตรา EUR ● ID 5733464 ● ป้องกันการคัดลอก Adobe DRM
ต้องใช้เครื่องอ่านหนังสืออิเล็กทรอนิกส์ที่มีความสามารถ DRM
หนังสืออิเล็กทรอนิกส์เพิ่มเติมจากผู้แต่งคนเดียวกัน / บรรณาธิการ
16,554 หนังสืออิเล็กทรอนิกส์ในหมวดหมู่นี้
