VLSI Electronics Microstructure Science, Volume 16: Lithography for VLSI treats special topics from each branch of lithography, and also contains general discussion of some lithographic methods. This volume contains 8 chapters that discuss the various aspects of lithography. Chapters 1 and 2 are devoted to optical lithography. Chapter 3 covers electron lithography in general, and Chapter 4 discusses electron resist exposure modeling. Chapter 5 presents the fundamentals of ion-beam lithography. Mask/wafer alignment for x-ray proximity printing and for optical lithography is tackled in Chapter 6. Chapters 7 and 8 on metrology deal with the characterization of lithography by measurements of various types. Engineers, scientists, and technical managers in the semiconductor industry, and engineering and applied physics faculty and graduate students will find the text very useful.
€55.73
Mua cuốn sách điện tử này và nhận thêm 1 cuốn MIỄN PHÍ!
Ngôn ngữ Anh ● định dạng PDF ● Trang 374 ● ISBN 9781483217826 ● Biên tập viên Norman G. Einspruch & R. K. Watts ● Nhà xuất bản Elsevier Science ● Được phát hành 2014 ● Có thể tải xuống 3 lần ● Tiền tệ EUR ● TÔI 5733464 ● Sao chép bảo vệ Adobe DRM
Yêu cầu trình đọc ebook có khả năng DRM
Thêm sách điện tử từ cùng một tác giả / Biên tập viên
16.554 Ebooks trong thể loại này
