This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.
€96.29
Mục lục
1.A review of Stick-Slip Nanopositioning Actuators.- 2. Piezoelectric Motor Technology – A Review.- 3.Design of High-speed Nanopositioning Systems.- 4.Parallel-Kinematic Nanopositioning Stages Based on Roberts Mechanism.- 5.Electro-magnetic Nano Positioning.- 6.Modeling of piezoelectric-actuated nanopositioning stages involving with the hysteresis.- 7. Tracking Control for Nanopositioning.- 8.Position Sensors for Nanopositioning.- 9. MEMS Nanopositioners.- 10.Control Issues of MEMS nanopositioning devices.- 11. A Review of Nanomanipulation in Scanning Electron Microscopes.- 12. Nanopositioning for lithography and data storage.
Mua cuốn sách điện tử này và nhận thêm 1 cuốn MIỄN PHÍ!
Ngôn ngữ Anh ● định dạng PDF ● Trang 409 ● ISBN 9783319238531 ● Kích thước tập tin 18.6 MB ● Biên tập viên Changhai Ru & Xinyu Liu ● Nhà xuất bản Springer International Publishing ● Thành phố Cham ● Quốc gia CH ● Được phát hành 2015 ● Có thể tải xuống 24 tháng ● Tiền tệ EUR ● TÔI 4814877 ● Sao chép bảo vệ DRM xã hội
Thêm sách điện tử từ cùng một tác giả / Biên tập viên
5.060 Ebooks trong thể loại này
