Michael T. Dugger & Seong H. Kim 
Adhesion Aspects in MEMS/NEMS [PDF ebook] 

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Phenomena associated with the adhesion interaction of surfaces have been a critical aspect of micro- and nanosystem development and performance since the first Micro Electro Mechanical Systems(MEMS) were fabricated. These phenomena are ubiquitous in nature and are present in all systems, however MEMS devices are particularly sensitive to their effects

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Sprache Englisch ● Format PDF ● Seiten 420 ● ISBN 9789004190955 ● Herausgeber Michael T. Dugger & Seong H. Kim ● Verlag CRC Press ● Erscheinungsjahr 2011 ● herunterladbar 6 mal ● Währung EUR ● ID 2613301 ● Kopierschutz Adobe DRM
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