Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.
Придбайте цю електронну книгу та отримайте ще 1 БЕЗКОШТОВНО!
Мова Англійська ● Формат PDF ● ISBN 9783662094327 ● Редактор Jarek Dabrowski & Eicke R. Weber ● Видавець Springer Berlin Heidelberg ● Опубліковано 2013 ● Завантажувані 3 разів ● Валюта EUR ● Посвідчення особи 6343377 ● Захист від копіювання Adobe DRM
Потрібен читач електронних книг, що підтримує DRM