This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating.
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विषयसूची
General Introduction to Microstructure TechnologyThe Parallels to Microelectrics
The Basis and Materials in Microtechnology
Basic Principles of Vacuum Technology
Litography
The Silicon Micromechanics
The LIGA Process
Alternative Process of Microstructuring
Construction and Junction Techniques (CJT)
System Technology
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भाषा अंग्रेज़ी ● स्वरूप PDF ● पेज 500 ● ISBN 9783527613014 ● फाइल का आकार 39.8 MB ● प्रकाशक Wiley-VCH ● प्रकाशित 2008 ● संस्करण 1 ● डाउनलोड करने योग्य 24 महीने ● मुद्रा EUR ● आईडी 2440850 ● कॉपी सुरक्षा Adobe DRM
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